疏水处理-贝蒂克生物-常见疏水处理

亲疏水处理度对于gaas/gan键合界面透光性的影响

采用亲疏水两种不同的处理方法，在氮气保护、600℃热处理1h条件下，成功实现了gan和gaas异质材料的键合，两种处理方法均可满足器件对于键合强度及键合面积的要求.从亲疏水键合机理的不同出发，研究了两种处理方法对于界面透光性的影响，对键合样品进行了可见光透射谱测试，实验结果表明疏水键合界面对于垂直入射的630nm的光可以获得---94.7%的透过率，并将键合样品加工成器件进行电致发光(el)谱测试，实验结果与透射谱测试结果一致.

氧等离子体处理后的pdms，其表面引入了亲水性质的-oh基团，疏水处理，并代替了-ch基团，从而使pdms表面表现出极强的亲水性质。同样，防水疏水处理，由于硅基底通过处理，表面含有大量si-o键，在氧等离子体处理的过程中，si-o键被打断，从而在表面形成大量的si悬挂键，通过吸收空气中-oh，形成了si-oh键。将处理后的pdms与硅表---贴合，两表面的si-oh之间发生如下反应:2si-ohsi-o-si+2h2o。在硅基底与pdms之间形成了牢固的si-o键结合，从而完成了二者间不可逆键合。