在基片上制备微阵列(即高密度地固定生物分子于基片上)的过程是微阵列芯片的关键技术，羧基化表面处理，发展非常迅速，表面羧基化粒子，相继出现了原位合成、预合成后钢针按触式点样、预合成后毛细管接触式点样、预合成后微泵喷涂等微阵列制备方法。这些方法在提高点样和点样效率、降低芯片成本等方面各有长有短。国际上一些大公司和研究机构，表面羧基化什么意思，如biorobotics公司、cartesian公司、telechem interna-tional inc. standford大学和生物芯片北京工程研究中心等，表面羧基化，都在进行微阵列芯片的制备方法及制备系统的研发。 biorobotics 公司开发的芯片制备系统和telechem international inc 的微阵列制备工作头为各研究机构所普遍采用。
3.微珠芯片技术
微珠芯片技术(beadarray) 技术是一一种新的基因芯片技术，有可能成为今后基因芯片技术发展的方向。目前，微珠芯片技术在生命科学领域的用途主要集中在snp及基因型分析、基因表达谱分析和蛋白组学研究三大领域。微珠芯片技术是在光导纤维技术基础上发展起.来的技术。在直径为3. 5mm的光纤束中，包含约50000跟光纤。
原位合成法主要为光引导聚合技术，它不仅可用于寡聚核苷酸的合成，也可用于合成寡肽分子。光引导聚合技术是照相平板印刷技术（ photolithography ）与传统的---、多肽固相合成技术相结合的产物。半导体技术中曾使用照相平板技术法在半导体硅片上制作微型电子线路。固相合成技术是当前多肽、---人工合成中普遍使用的方法，技术成熟且已实现自动化。二者的结合为合成高密度---探针及短肽阵列提供了一条快捷的途径。
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