超疏水表面材料具有防水、防污、可减少流体的粘滞等优良特性，是目前功能材料研究的---之一一。超疏水性物质，具有极难被水沾湿的表面，其水在其表面的接触角超过150°，表面疏水处理，滑动角小于20°。超疏水表面一般可以通过两类技术路线来制备:--类是在低表面能的疏水材料表面上构建微米纳米级粗糙结构;另外一类是用低表面能物质在微米-纳米级粗糙结构上进行修饰处理。从制备方法来说，疏水处理仪器，主要有蒸汽---相分离法、模板印刷法、电纺法、溶胶-凝胶法、模板挤压法、激光和等离子体刻蚀法、拉伸法、腐蚀法以及其他方法。
目前，关于pdms. 与硅基材料低温键合的方法多种多样。在制作硅- pdms多层结构微阀的过程中，将pdms直接旋涂、固化在硅片上，如何疏水处理，实现硅- pdms薄膜直接键合，这种方法属于可逆键合，键合强度不高。在制作生物芯片时，利用氧等离子体分别处理pdms和带有氧化层掩膜的硅基片，将其键合在一起。此方法实际上是pdms与sio2掩膜层的键合，但在硅表面由热氧化法制得的sio2膜层与pdms的键合效果并不理想。
即硅片表面必须由低能转化为高能表面。从a=r（sg）- r（sl）＞0式可以看出:完成上述转化的条件为或者使r（sg）.上升，或者r（sl）下降。由于清洗液大多为无机碱、酸的水溶液，江西疏水处理，知这时r（sl）.几乎不变。因此，的方法是改变r（sg）， 使之增加。由于结构完整的纯净硅表面r（sg）是固定的，要改变其r（sg），只能改变其表面结构。实际上，硅片经过清洗液洗后，表面si大部分以o键为终端结构，即表面非定形siox结构，利用其高r（sg）值达到硅表面吸附水分子的效果。亲水处理后，硅表面结构
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