当硅片经清洗液处理后表面不沾水分子时称为疏水处理,反之表面吸附水膜时为亲水处理。纯净的硅片表面是疏水性的。从能量观点看,疏水处理剂,疏水性表面属低能表面,这时硅片表面张力r(sg)小于水分子表面张力r(sl)。亲水性表面则属高能表面,疏水处理,这时的硅表面张力r(sg)大于水分子表面张力r(sl)。由此可知,硅表面成为亲水性的基本条件为a=r(sg)- r(sl)>0
一、性质不同
1、亲水性材料:材料与水接触时能被水湿润的特性称为亲水性材料。
2、疏水性材料:该材料具有与水不能湿润的性质,当该材料的湿润角大于90时,称为疏水性材料。
二、特点不同
1、亲水性材料:分子具有极性基团,表面疏水处理,对水有很大的亲和力,能吸引水分子,或溶于水。由这些分子形成的固体材料的表面很容易被水润湿。
2、疏水性:在复合绝缘子行业中,疏水性又称润湿性,常见疏水处理,由复合绝缘子(硅橡胶)外绝缘表面张力决定,表示水对复合绝缘子外绝缘的润湿能力。
三、判断方法不同
1、亲水性材料:当润湿角小于等于90度时,水分子之间的内聚力小于材料表面水分子之间的相互吸引。它是一种亲水性材料。
2、疏水性材料:当润湿角大于或等于90°时,材料表面水分子之间的内聚力大于水分子之间的相互吸引,为疏水性材料。
利用氧等离子体表面处理,使pdms与带有钝化层的硅片在室温常压下可以成功键合。在利用氧等离子体改性处理实现pdms与其它基片键合的技术中,-般认为,在进行氧等离子体表面改性后,应立即将pdms基片与盖片贴合,否则pdms表面将很快恢复疏水性,从而导致键合失效,因此可操作工艺时间较短,一般为1 ~ 10min。而通常在需键合的pdms基片和硅基片上都会带有相应的微细结构,键合前需用一定的时间进行结构图形的对准,因此,如何使pdms活性表面的持续时间得以延长,成为---键合的关键。
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