利用氧等离子体表面处理，玻片疏水处理，使pdms与带有钝化层的硅片在室温常压下可以成功键合。在利用氧等离子体改性处理实现pdms与其它基片键合的技术中，-般认为，疏水处理，在进行氧等离子体表面改性后，玻璃疏水处理，应立即将pdms基片与盖片贴合，否则pdms表面将很快恢复疏水性，表面疏水处理，从而导致键合失效，因此可操作工艺时间较短，一般为1 ~ 10min。而通常在需键合的pdms基片和硅基片上都会带有相应的微细结构，键合前需用一定的时间进行结构图形的对准，因此，如何使pdms活性表面的持续时间得以延长，成为---键合的关键。
为了提高材料表面的亲水性，应用等离子体技术对材料进行表面改性而提高其润湿性；等离子表面清洗技术作为一种新型的材料表面改性方法，低能耗、污染小、处理时间短、效果明显的特点引起了人们的关注。改性后疏水性材料表面的润湿性得到了明显---，等离子清洗机是众多的改性方法中，近年来发展较快的方法，与其他方法相比有很多优点。
亲水性（hydrophilic），对水具有亲合力的性能。如·：金属版材如铬、铝、锌及其生成的氢氧化物以及具有毛细现象的物质都有---的亲水效果。在有机物中表现为---和羧基等的亲水性，即它们使该有机物易溶于水。 疏水性（hydrophobic），对水具有排斥能力的性能。如：印版图文的亲油成分和印刷油墨都具有---的疏水性。在有机物中表现为和---环等的疏水性，即它们使该有机物难溶于水。
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