亲水性足指分了能够透过氢键和水分了形成短暂键结的物理性质。疏水性指的足个分了(疏水物)与水互相排斥的物理性质。由此可见亲疏水性足个相对的概念,简单疏水处理,可以用浸润性来统称。水分了子附在硅片表面会展开,防水疏水处理,附在固体硅表面一定表面积上彤成液态水分子、气态空气及固态硅表面的e相平衡关系。在固、液、气三相交界处,自固/液界面经过水分子内部到气-液界面的夹角叫接触角,天津疏水处理,以0示之。平衡接触角与固/气、固/液、液/气界面自由能之间满足t.
当硅片经清洗液处理后表面不沾水分子时称为疏水处理,反之表面吸附水膜时为亲水处理。纯净的硅片表面是疏水性的。从能量观点看,疏水性表面属低能表面,这时硅片表面张力r(sg)小于水分子表面张力r(sl)。亲水性表面则属高能表面,这时的硅表面张力r(sg)大于水分子表面张力r(sl)。由此可知,硅表面成为亲水性的基本条件为a=r(sg)- r(sl)>0
当今社会已经进入了电子信息时代,疏水处理玻璃,微处理芯片的发明改变了,微电子、信息技术的水平已经被视为一个现代化水平高低的重要标志。硅经过提纯加工成单晶硅片,就是生产集成电路芯片的片基。亲水性和疏水性是硅片的重要物理性质,对硅片的后期加工起着重要的作用。当硅片本身的亲疏水性无法达到加工制造的要求时,就要对硅片进行亲疏水处理,使其满足加工制造的要求。
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