pdms以其的优势在微流控芯片中得到应用:材料廉价、易得;材料可加工性、成型性好,可以通过快速模塑法制作不同通道形状的微流控芯片;可以透过240nm以上波段的紫外、可见光,怎么亲水处理,适合各种光学检测;不透水,不溶于水和常见电泳缓冲液;可以透过空气,北京亲水处理,对细胞---,适合生物样品检测;表面能低,容易和其他材料进行可逆或者不可逆键合;有---的绝缘性,---的散热性能,适于电泳分离;材料表面易于进行改性,适合不同要求的生物样品分析检测;容易质谱等其他分析检测技术联用。
目前,关于pdms. 与硅基材料低温键合的方法多种多样。在制作硅- pdms多层结构微阀的过程中,将pdms直接旋涂、固化在硅片上,实现硅- pdms薄膜直接键合,这种方法属于可逆键合,键合强度不高。在制作生物芯片时,利用氧等离子体分别处理pdms和带有氧化层掩膜的硅基片,将其键合在一起。此方法实际上是pdms与sio2掩膜层的键合,但在硅表面由热氧化法制得的sio2膜层与pdms的键合效果并不理想。
当今社会已经进入了电子信息时代,微处理芯片的发明改变了,微电子、信息技术的水平已经被视为一个现代化水平高低的重要标志。硅经过提纯加工成单晶硅片,就是生产集成电路芯片的片基。亲水性和疏水性是硅片的重要物理性质,亲水处理方法,对硅片的后期加工起着重要的作用。当硅片本身的亲疏水性无法达到加工制造的要求时,就要对硅片进行亲疏水处理,使其满足加工制造的要求。
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